華南師范大學(xué)未來科技研究院對石牌校區(qū)產(chǎn)業(yè)大樓一樓進(jìn)行改造，建設(shè)科研級光學(xué)平臺，設(shè)置一個(gè)千級實(shí)驗(yàn)室和一個(gè)萬級實(shí)驗(yàn)室。施工方案包括潔凈室墻面地面改造、電力系統(tǒng)改造、潔凈空調(diào)系統(tǒng)安裝、氣路系統(tǒng)安裝、純水系統(tǒng)安裝等。
        項(xiàng)目主要功能：對實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行升級，將其潔凈系統(tǒng)達(dá)到萬級與千級的級別；電力系統(tǒng)滿足柔性光子芯片核心設(shè)備的運(yùn)行需求。
        項(xiàng)目主要用途：為柔性光子芯片相關(guān)設(shè)備提供一個(gè)高質(zhì)量的無塵環(huán)境，從而使實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性與安全性更高。根據(jù)大型貴重設(shè)備的使用要求對場地進(jìn)行升級，放置設(shè)備包括脈沖激光沉積系統(tǒng)、等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積裝置、真空多靶磁控濺射設(shè)備、超高真空電子束蒸發(fā)設(shè)備、真空等離子清洗機(jī)、雙光子無掩膜飛秒激光光刻系統(tǒng)、飛秒激光微加工系統(tǒng)、聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)、高精度光刻機(jī)、高精密3D打印機(jī)、納米材料沉積柔性印刷電子設(shè)備、PDMS微流控芯片加工平臺、超快激光器OPO、OPA等。